【瑞士lyncee00数字全息显微镜_电子显微镜】_价格_厂家_批发
瑞士lyncee*00数字全息显微镜产品详情
- 纵向分辨率:0.3nm
- 水平分辨率:300nm
- 成像速率:可达1000fps
- 品牌:其他
- 类型:其他
- 加工定制:是
- 型号:r-2200
- 仪器最大放大倍数:100×
- 目镜放大倍数:100×
- 物镜放大倍数:100×
- 用途:MEMS、三维形貌
- 装箱数:1
- 外形尺寸:600×600×800mm
- 重量:48kg
反射式数字全息显微镜
反射式配置数字全息显微镜,无需扫描,非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。
R1000-配备单一光源,是测量光滑表面和振动的标准测量工具
2100-同时配置双波长,实现复杂或不连续结构的测量。
2200-在2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力,特别是测量透明模式。
反射式DHM的特性:
快速3D样貌测量法 |
MEMS分析,频率可达25Mh |
DHM测量表面三维样貌,单一响应,无需扫描机制。****的快速采集,相机速度达1000fps允许: 可变形样品的3D动态研究 常规检查与高生产率 短余辉荧光屏及大型表面的分析 生产线的三维地貌 |
同步DHM 可选频闪单元,测量MEMS装置的激励信号。这一*数据分析提供: 三维地貌的时序 共振频率和响应 振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm 表征复杂运动和样品 |
测量可控制环境条件 |
透明模式的地貌测量 |
DHM*的光学配置允许用户测量佳光学质量指标: 通过玻璃和浸没液体 内部环境和真空室,控制温度,湿度,压强,气体成分。 |
可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量: 透明结构的形貌 厚度和折射率,多层结构的厚度值 从10nm到几十微米 柔软材料和液体的形貌 |
反射式DHM主要参数:
系统 |
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DHM型号 |
R1000 |
2100 |
2200 |
光源数量 |
1 |
2 |
3 |
操作波长(±0.1nm) |
666nm |
794nm |
666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波长稳定性 |
0.01 nm / °C at 666 |
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样品台 |
手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm |
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物镜 |
放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜 |
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物镜转轮 |
六孔转盘 |
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计算机 |
DELL工作站,多核Intel处理器,*图像卡,配置21英寸显示屏及鼠标, |
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软件 |
基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于****分析 |
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数据兼容性 |
测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组 |
技术参数:
性能参数 |
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测量模式 |
666nm单波长 |
合成短波长4.2um |
合成长波长24um |
DHM型号 |
R1000,2100,2200 |
2100,2200 |
2200 |
精度[nm] |
0.15 |
0.15 / 3.0 * |
20 |
垂直分辨率[nm] |
0.30 |
0.30 / 6.0 * |
40 |
重复性[nm] |
0.01 |
0.01 / 0.1 * |
0.5 |
垂直测量范围 |
up to 200 μm |
up to 200 μm |
up to 200 μm |
锐利边缘大台阶高度 |
up to 333 nm |
up to 2.1 μm |
up to 12 μm |
表面类型 |
光滑表面 |
复杂,非连续表面 |
复杂非连续表面 |
垂直校准 |
取决于干涉滤光片,±0.1 nm |
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响应时间 |
标准500us,10us(可选) |
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响应速度 |
标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧 |
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重建速率 |
高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧) |
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水平分辨率 |
取决于物镜,低至300nm |
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视野 |
取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围 |
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工作距离 |
取决于物镜,从0.3到18 mm |
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数字对焦 |
取决于物镜,高达50 x景深 |
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小样品反射率 |
低于1% |
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样品照明 |
低至1 μW/cm2 |
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频闪装置 |
兼容单一,合成短波长 |
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电源要求 |
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输入电压 |
85-260 VAC – 50/60 Hz |
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电源要求 |
大250W |
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尺寸重量 |
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尺寸 |
600 x 600 x 800 mm |
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重量 |
48kg |